정부가 소재·부품·장비(소부장) 분야 중소기업이 반도체 핵심 성능을 테스트할 수 있도록 12인치 테스트베드를 지원한다. 이를 통해 반도체 분야의 소부장 기술 자립화에 드는 시간과 비용을 절감한다는 계획이다.
반도체 생산용 소재·부품은 2017년 7월 일본의 수출 규제로 소부장 기술 자립화 경각심을 불러온 대표 품목이다.
국내 반도체 소부장 기업이 대기업 생산 환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 대기업 납품에 필요한 수준의 평가 결과를 획득하는 데 어려움도 있었다. 대부분의 중소기업은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원에서 8인치 장비를 활용한 기초 평가 수준에 만족할 수밖에 없었다.
과기정통부는 이같은 문제를 해결하고자 2019년 8월 종가원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정했다. 국비 총 450억원을 투자해 청정실(반도체 소자나 집정 회로 제조 위해 미세먼지를 제거한 작업실)과 핵심 장비 구축, 장비 안정화 작업을 추진, 이달 17일부터 공식 서비스를 선보이게 됐다. 이를 통해 반도체 분야 소부장 기술 자립화에 드는 시간과 비용을 절감한다는 계획이다.
이조원 종기원 원장은 "12인치 테스트베드는 40나노미터(㎚) 패턴 웨이퍼 제작이 가능한 인프라다. 감광제 등 반도체 핵심 소재와 장비 개발을 집중적으로 지원하겠다"며 "향후 20㎚급 패턴 웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원하는 추가 장비 구축 및 공정 기술 개발을 추진하겠다"고 말했다.
김봉수 과기정통부 기초원천연구정책관은 "반도체 산업은 국가 수출의 20%를 담당하는 핵심 주력 산업이다"며 "앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초, 원천 연구 지원과 병행해 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자 확대, 기능 고도화 등의 노력을 지속해서 추진하겠다"고 말했다.
김평화 기자 peaceit@chosunbiz.com