삼성전자, 평택캠퍼스 폐수처리 시설 그린동 공개

이광영 기자
입력 2021.03.21 15:46
삼성전자가 세계 물의 날(3월 22일)을 앞두고 반도체 공장인 평택캠퍼스 그린동 시설 폐수처리 노하우를 공개했다.

삼성전자는 21일 블로그에 최대 반도체 생산 기지인 평택캠퍼스의 첨단 폐수 처리 시설인 ‘그린동’의 모습을 최초 공개했다. 그린동은 반도체 제조 과정에서 발생하는 폐수를 깨끗하게 처리해 폐수종말처리장으로 보내는 역할을 한다.

평택캠퍼스는 삼성전자가 조성중인 세계 최대 규모의 반도체 생산 시설이다. P1·P2공장이 완공됐으며 P3 라인 건설 공사가 진행 중이다.

삼성전자 평택캠퍼스 그린동 조감도 / 삼성전자
그린동의 지하 수처리 시설의 단면적은 약 3만4000㎡다. 서울월드컵경기장 잔디 구장 면적의 3.7배쯤이다.

이곳은 하루에 반도체 생산으로 발생한 7만톤의 폐수를 정화한다. 캐리비안베이 하루 담수량(1만5000톤)의 4.7배 규모다.

삼성전자는 그린동이 최첨단 폐수 처리설비를 갖췄다고 강조했다.

반도체 공정에서 발생하는 폐수는 성분에 따라 크게 6가지로 나뉜다. 이중 알칼리성 폐수를 처리하는 과정에서 화학약품인 과산화수소 대신 활성탄(Carbon)을 이용해 필터링하는 친환경 공법이 적용됐다.

미생물을 활용해 질소를 제거하는 ‘유기 처리’ 과정은 폐수처리의 핵심 단계다. 그린동에서는 고위험 약품인 메탄올을 사용하는 대신 ‘복합 유기탄소원’으로 대체했다.

정화를 마친 물을 고덕 폐수종말처리장까지 방류하는 2.6㎞의 방류관도 별도의 산소 농도 관리와 함께 기계실처럼 도장해 안전한 시설을 구축했다.

그린동 중앙통제실(CCR)에서는 폐수 정화부터 방류까지 모든 처리 과정을 실시간으로 모니터링한다. 그린동의 자동화율은 97%다.

삼성전자 관계자는 "초미세공정을 다루는 반도체 사업장에서 물은 반드시 필요하다"며 "폐수 처리는 반도체 사업장의 마지막 공정이라는 막중한 책임감을 가지고 있다"고 말했다.

이광영 기자 gwang0e@chosunbiz.com


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