獨 화학소재 '머크', 평택에 반도체 소재 연구소 '개소'

입력 2020.06.30 15:52

독일의 세계적인 화학 기업 ‘머크'가 경기도 평택에 첨단 기술센터를 구축하고 차세대 반도체 소재 개발에 나선다.

지난해 용인에 R&D 센터를 건립하겠다고 발표한 세계 3대 반도체 장비 기업 ‘램리서치’와 천안에 극자외선(EUV)용 포토레지스트 개발·생산시설을 구축하겠다고 밝힌 미국 화학소재 기업 ‘듀폰' 등 최근 글로벌 소재부품장비 기업의 한국 진출이 잇따르고 있다.

경기도 평택 송탄산업단지에 문을 연 머크 한국 첨단기술센터(K-ATeC) / 머크
머크는 경기도 평택 송탄산업단지에 한국 첨단기술센터 'K-ATeC'을 개소, 반도체 웨이퍼 표면을 연마·평탄화하는 데 쓰는 화학물질 CMP 슬러리 등 차세대 반도체 소재 개발에 나설 계획이라고 30일 밝혔다.

머크는 면적 3240m², 총 5층 규모인 센터 건립에 350억원 이상을 투자했다. 센터는 고객평가를 위한 샘플링 랩과 CMP 소재 설계 및 분석을 위한 리서치 랩, 12인치 CMP 웨이퍼 연마 시스템 및 웨이퍼 결함 검사 장비 등을 갖춘 클린룸 등으로 구성됐다.

머크뿐만 아니라 램리서치, 듀폰 등 글로벌 소재부품장비 기업의 한국 진출이 최근 잇따르고 있다.

이창한 한국반도체산업협회 부회장은 "한국이 삼성전자, SK하이닉스를 중심으로 반도체 분야에서 빠르게 기술력을 높여가고 있어, 글로벌 기업 투자를 끌어들이고 있다"며 "우수한 인력도 배출하고 있기 때문에 상호 발전 계기를 마련하기 위해 한국에 진출하는 것으로 본다"고 말했다.

김동진 기자 communication@chosunbiz.com


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