초소형 전자산업용 특수화학물질 및 첨단 소재 처리 솔루션 기업 인테그리스는 반도체와 유기발광다이오드(LED) 수율을 개선해주는 가스 정제 시스템 '게이트키퍼(GateKeeper)'를 한국에서 생산한다고 8일 밝혔다.

인테그리스는 게이트키퍼를 그동안 미국과 싱가포르에서 생산했다. 한국 반도체 기업들은 주로 싱가포르에서 게이트키퍼 수입, 사용했다.

인테그리스는 한국에서 게이트키퍼를 생산, 삼성전자·SK하이닉스와 같은 주요 고객사와의 협력 관계를 강화하고, 나아가 한국을 전초기지 삼아 중국, 대만 등 아시아태평양 시장 공략에도 적극 나선다는 계획이다.


게이트키퍼 가스 정제 시스템 / 인테그리스 제공
게이트키퍼 가스 정제 시스템 / 인테그리스 제공
게이트키퍼는 반도체 제조 공정에서 발생하는 수분이나 가스를 정제하는 장비다. 가스 내 여러 오염 물질을 ppt(1조분의 1) 수준으로 제거할 수 있어 반도체 및 LED 응용분야 웨이퍼의 불량 발생을 방지하고, 수율 개선에 도움을 준다.

홍완철 인테그리스코리아 대표는 "첨단 소재의 도입과 반도체 미세공정의 발전으로 수율에 대한 불확실성이 커지면서 여과 및 정제 공정의 중요성이 날로 커지고 있다"며 "높은 순도의 가스 정제 시스템을 한국에서 생산함으로써 고객사와의 거리를 좁히고, 장기적으로는 수입 대체 효과도 거둘 수 있을 것으로 기대한다"고 말했다.