도쿄일렉트로닉스와 레이저텍 등 일본 반도체 장비·검사 기업이 극자외선(EUV)으로 알려진 차세대 반도체 기술 부문에 투자를 확대하고 있다.
네덜란드 기업 ASML이 유일하게 EUV 장비를 생산·공급하는 가운데 일본 기업들은 결함 검사 장비와 광원 등 EUV 관련 주변부 기술로 존재감을 높이고 있다.
파장 길이가 13.5나노인 EUV를 리소그래피 공정에 활용하면 2~5나노 초미세 반도체를 구현할 수 있다. 반도체 크기와 에너지 소모를 줄이면서 성능을 높이기 위해 글로벌 반도체 업체들은 미세공정 개발에 박차를 가하고 있다.
외신에 따르면 실리콘 웨이퍼에 노광용 감광액을 도포하는 코터 및 디벨로퍼 장비 전문업체 도쿄일렉트론은 EUV 광원 관련 기술을 확보하기 위해 올해 최대 규모 연구개발비 1350억엔(약 1조5000억원)을 책정했다. 결함 검사 장비 기업 레이저텍은 EUV 관련 수주액이 지난 1년 사이 2배 이상 증가했다고 덧붙였다.
가와이 도시키 도쿄일렉트로닉스 사장은 "EUV를 널리 활용하면 첨단 장비에 대한 수요도 늘어날 것"이라며 투자 배경을 설명했다.
결함 검사 장비 기업 레이저텍은 2019년 7월부터 올해 3월까지 EUV 관련 시험 장비 분야에서 658억엔(7395억원)을 수주해 전년 동기 대비 2.2배 증가했다고 밝혔다.
TSMC와 삼성전자 등 EUV 기반 첨단 미세 공정을 도입하려는 반도체 기업 간 기술경쟁으로 관련 수요가 증가하는 가운데 발빠른 투자를 단행한 일본 반도체 장비·검사 기업이 수혜자로 떠오르는 모습이다.
김동진 기자 communication@chosunbiz.com