미국이 네덜란드 반도체 장비업체 ASML에 반도체 노광장비를 중국에 판매하지 못하도록 네덜란드 정부에 압력을 가한 것으로 나타났다.
5일(현지시각) 블룸버그통신은 소식통을 인용해 돈 그레이브스 미국 상무부 부장관이 5월 말부터 6월 초까지 네덜란드를 방문했을 당시 ASML이 만드는 구형 심자외선(DUV) 노광장비의 중국 판매를 금지해달라는 요청을 했다고 밝혔다.
앞서 네덜란드 정부는 미국의 압박으로 ASML이 세계에서 유일하게 생산하는 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 중국 수출 승인을 내주지 않고 있다. 이런 조치를 구형 노광장비까지 확대해달라는 미국의 의도로 풀이된다.
미국은 일본에 대해서도 니콘 DUV 노광장비의 중국 판매 금지를 요청하고 있는 것으로 알려졌다.
DUV 노광장비는 EUV 같은 최첨단 기술은 아니지만, 자동차나 스마트폰, PC, 로봇 등에 들어가는 반도체를 만드는 데 사용되는 보편적인 기술이다.
블룸버그는 미국의 요청을 네덜란드가 수용하면 중국 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체인 SMIC(中芯國際·중신궈지)나 화훙(華虹) 반도체 등 중국 반도체 업계는 물론 중국의 '반도체 굴기'도 상당한 타격을 받을 것이라고 설명했다.
하지만 네덜란드 정부는 독일, 벨기에에 이은 3대 교역국인 중국과의 무역 관계 훼손에 대한 우려로 아직 미국의 요구를 받아들이지는 않은 상태라고 블룸버그는 전했다.
ASML의 대변인은 DUV 노광장비 중국 수출 금지 논의가 전혀 새로운 이야기가 아니라면서 어떤 결정도 내리지 않은 상태에서 소문에 대해 논평하거나 추측하지 않을 것이라고 말했다.
올해 초 베닝크 ASML CEO는 DUV 노광장비가 이미 오랜 기간 사용된 기술이라며 중국 판매 금지에 반대한다는 입장을 밝힌 바 있다.
이광영 기자 gwang0e@chosunbiz.com