삼성전자 자회사 직원이 반도체 핵심 기술을 기반으로 만든 장비를 중국 업체에 납품한 정황이 드러났다.
수원지검은 부정경쟁방지 및 영업비밀보호에 관한 법률 등 혐의로 A씨 등 세메스 전 연구원 2명과 부품 협력사 직원 2명을 구속 기소했다고 16일 밝혔다.
초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비다. 기판 손상을 최소화하는 기술로 알려졌다.
이 장비는 삼성전자에만 납품됐는데, A씨 등은 회사를 설립한 후 단가를 더 쳐주겠다며 협력사를 꼬드겨 부품을 납품 받은 후 이를 중국 기업에 납품한 것으로 전해졌다. 이들은 중국 측에서 총 800억원의 대가를 받은 것으로 드러났다.
세메스 관계자는 "검찰이 수사 중인 사안이며, 구체적인 입장을 내놓기 어렵다"고 말했다.
이광영 기자 gwang0e@chosunbiz.com