반도체 장비회사 ASML의 전 최고경영자(CEO)가 네덜란드 경제부 장관과 함께 삼성전자 평택 반도체 공장을 방문했다.
20일 업계에 따르면 피터 베닝크 ASML 전 CEO는 하루전인 19일 디르크 벨야르츠 네덜란드 경제부 장관을 포함한 정부 관계자들과 경기 평택에 있는 삼성전자 반도체 공장을 방문해 디바이스솔루션(DS)부문 경영진과 회동했다.
이들은 이르면 올해 반입하기로 한 ASML의 첨단장비인 '하이 뉴메리컬어피처 EUV 노광 장비' 협력과 관련한 이야기를 나눈 것으로 관측된다.
ASML은 세계에서 유일하게 EUV 노광장비를 생산하는 네덜란드 기업으로 반도체업계에서는 슈퍼을로 불린다. 7나노(나노미터·10억분의 1m) 이하 초미세 반도체 회로를 만들기 위핸 핵심 장비를 독점 생산하고 있다. 주요 고객은 삼성전자와 TSMC, 인텔 등이다.
최첨단 제품인 하이 NA EUV는 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 미만의 미세 공정을 구현할 수 있는 장비다. 한대당 가격은 약 4000억~5000억원 수준으로 알려진다.
베닝크 전 CEO는 2013년부터 ASML을 이끌어 오며 삼성과 굵직한 협업을 해오며 각별한 관계를 유지해왔다. 베닝크가 CEO로 재임했던 시기인 2023년 말 ASML은 삼성전자와 경기 화성에 1조원을 들여 첨단 반도체 미세 공정 기술을 개발하는 대규모 연구 시설을 짓기로 하고 현재 추진 중이다.
업계에서는 이번 방문도 베닝크 전 CEO의 역할이 컸다고 분석한다. 이번엔 정부 관계자가 참석하면서 양사의 협력이 더욱 공고해질 것이라는 관측이 나온다.
이선율 기자
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