글로벌 반도체 장비기업인 ASML이 12일 경기도 화성시 동탄신도시에 1만6000㎡ 규모 화성캠퍼스를 구축했다.

이재용 삼성전자 회장이 2022년 6월 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 CEO, 마틴 반 덴 브링크 CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검하고 있다. / 삼성전자
이재용 삼성전자 회장이 2022년 6월 14일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 CEO, 마틴 반 덴 브링크 CTO 등과 함께 반도체 장비를 점검하고 있다. / 삼성전자

산업통상부 등에 따르면 ASML은 12일 경기 화성시에서 '화성캠퍼스 준공식'을 열었다. ASML은 한국과 네덜란드간 반도체 기술과 투자 협력 방안을 모색했다.

이날 준공식에는 삼성전자, SK하이닉스 등을 비롯한 업계 관계자와 강감찬 산업부 무역투자실장과 경기도 부지사, 화성 부시장 등이 참가했다.

ASML는 네덜란드를 대표하는 글로벌 반도체 장비 기업으로 반도체 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하고 있다. 주요 공급 고객사는 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등 국내외 반도체 기업이다.

ASML 화성캠퍼스는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비 등 첨단장비 부품의 재(再)제조센터와 첨단기술 전수를 위한 트레이닝 센터 등이 들어선다.

ASML은 캠퍼스를 통해 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 공정 협력 및 기술 교류를 강화하고, 국내 소재·부품·장비 기업과의 연계 생태계를 구축할 계획이다. 또한 한국 반도체 산업과의 상생형 협력 모델을 본격화할 계획이다.

이선율 기자
melody@chosunbiz.com